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HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 簡(jiǎn)介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場(chǎng)

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

可售賣地

面議

價(jià)格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過(guò)靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。 GR-300 系列的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)(GR314) 介紹

型號(hào)：GR314
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-100%
電源：24VDC

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 詳情介紹

優(yōu)點(diǎn)：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確

即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來(lái)控制壓力。安裝了一個(gè)高精度的壓力傳感器，用于測(cè)量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。

質(zhì)量流量傳感器（可選）

通過(guò)應(yīng)用HORIBA STEC 質(zhì)量流量產(chǎn)品中成熟的流體控制技術(shù)，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測(cè)（帶質(zhì)量流量傳感器）以實(shí)現(xiàn)自診斷功能。

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合最新RoHS法規(guī)的零件

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)參數(shù)

關(guān)于進(jìn)佳儀器

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