金屬墊片面密封接頭在半導體行業的應用介紹

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在半導體行業使用的純流體系統中，接頭的選擇是關鍵點之一，常見的選擇是焊接接頭，但焊接接頭不適用于那些需要定期更換或維護的連接，而采用非金屬材料的 O 形圈密封接頭則可能面臨和介質不兼容的問題。有沒有一種接頭即方便安裝和拆卸，又能和介質兼容，還能保證可靠的密封呢? 答案是金屬墊片面密封接頭。這種接頭的密封元件采用金屬墊片，其主要優點如下：

金屬對金屬硬密封，密封性好：擰緊螺母時，兩端的接管會從兩個方向擠壓金屬墊片，由于接管密封面的硬度>金屬墊片（飛托克的316L不銹鋼材質的接管密封面比同種材質的墊片硬度109HV，比鎳材質墊片硬度158HV），因此金屬墊片會產生輕微的變形，接管和金屬墊片之間形成緊密的面密封以保證密封性能，飛托克產品在使用316L不銹鋼材質鍍銀墊片、鎳材質鍍銀墊片和銅墊片時氦氣泄漏率 4x10^-9 std cm³/s，使用316L不銹鋼材質和鎳材質電解拋光墊片時氦氣泄率 4x10^-11 std cm³/s；

可重復拆裝使用：擠壓金屬墊片不會損傷接管密封面，因此可以重復拆裝使用，僅需每次更換密封墊片，維護成本低；

無死區，不易殘留，易吹掃：金屬墊片面密封接頭的結構使得密封元件能被氣體完全吹掃，因而消除了殘留導致的污染風險；

安裝和拆卸方便：這種接頭安裝和拆卸簡單，只需要常規工具即可完成，可以大幅提高安裝和維護的效率。