HORIBA腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀IR-400介紹

2025-11-02 08:00

HORIBA IR-400 高級氣體監測儀：提升清洗過程的智能化

上海進佳科學儀器有限公司，作為一家長期專注于流量控制與過程連接解決方案的企業，與眾多國際知名品牌保持緊密合作關系，其中包括已代理15年的日本HORIBA。今天，我們將向您詳細介紹其旗艦產品——HORIBA IR-400高級氣體監測儀，該產品專為腔室清洗終點監測而設計，廣泛應用于電子半導體及其他高科技行業。

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HORIBA IR-400 的核心功能

HORIBA IR-400是業內的氣體監測儀，專門用于沉積過程中實時監測腔室清洗終點。其獨特的功能包括實時終點監測，這一功能能夠顯著減少清洗時間及清洗氣體使用量。通過優化清洗過程，IR-400不僅提高了清洗效率，還減少了對腔室的損害，從而延長所有系統部件的使用壽命。

HORIBA IR-400 氣體監測儀

技術參數解析

HORIBA IR-400具備多氣體監測功能，支持SiF4和CF4氣體的檢測（型號IR-422）。其高靈敏度氣室加熱功能可達到最高180℃，確保在不同環境下的穩定性與精確性。此外，IR-400還提供多重顯示模式及模擬/數字通信接口，方便用戶實時監測及數據傳輸。

典型應用場景

HORIBA IR-400在半導體制造過程中扮演著關鍵角色。它適用于各種腔室清洗過程，包括化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）等。通過實時監測清洗終點，IR-400不僅優化了清洗時間，還降低了清洗氣體的消耗。其可重復和可預測的清洗過程，為制造商提供了可靠的生產環境，確保產品質量的一致性。

優勢亮點總結

HORIBA IR-400作為一種高級氣體監測儀，提供了諸多優勢。首先是其顯著的清洗時間縮短和氣體使用量減少，這不僅提高了生產效率，還保護了腔室組件，延長了設備的使用壽命。其次，IR-400的高靈敏度和多氣體監測功能，確保了在復雜工藝條件下的精確度和可靠性。最后，上海進佳科學儀器有限公司提供的全面技術支持和售后服務，使得客戶能夠無憂地使用該產品。

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如果您對HORIBA IR-400高級氣體監測儀感興趣或有任何疑問，請隨時聯系上海進佳科學儀器有限公司。我們擁有專業的工程師團隊，能夠為您提供選型咨詢、方案推薦以及定制化配件服務。歡迎致電或訪問我們的官網以獲取更多信息。